Аннотация
проведено математическое моделирование теплофизических процессов при сборке мощного биполярного транзистора в корпус прибора. Рассмотрена структура транзистора и характеристики ее элементов. Определено температурное поле транзистора. Для математического моделирования теплофизических процессов представлена система дифференциальных уравнений, описывающая температурное поле транзистора с начальными и граничными условиями. Решение системы дифференциальных уравнений получено численным методом конечных элементов, реализованным в пакете прикладных программ Elcut. Методика численного расчета температурного поля представлена решением дифференциальных уравнений частным производным, а также интегральных уравнений. В работе проведен численный эксперимент по модели мощного биполярного транзистора с учетом теплофизических параметров его областей. Для количественного анализа теплофизических процессов в структуре транзистора получены одномерные графики изменения температуры в областях биполярного транзистора. Результаты расчетов представлены в виде двухмерных температурных полей в поперечном сечении при изменении токов питания от 3 до 9 А для предлагаемого слоя металлизации обратной стороны структуры транзистора в виде композиции из металлов хром–никель–олово–серебро и для слоя хром–никель, применяемого по базовой технологии при изготовлении исследуемого транзистора. Представлены графики изменения температуры вдоль оси слоя металлизации для вариантов напыления хром–никель–олово–серебро и хром–никель при различных значениях токов питания. Расчет теплового сопротивления показал меньшие значения для металлизации композиции хром–никель–олово–серебро в сравнении с металлизацией хром–никель по базовой технологии.
Литература
Нечаев A. M., Синкевич В. Ф., Козлов H. A. Расчет стационарных тепловых полей в структурах мощных транзисторов. Электронная техника. Серия 2. Полупроводниковые приборы. 1989;1:19–24.
Шахмаева А. Р., Казалиева Э. Способ присоединения кристаллов транзисторов к основанию выводной рамки в процессе сборки полупроводникового прибора. Датчики и системы. 2024;1:32–37. DOI: 10.25728/datsys.2024.1.7.
Shakhmayeva A. R., Kazalieva E. Technology of Metallizatin of the Structure of a Semiconductor Device by a Composition of Nanosized Metal Layers. Russian Microelectronics. 2023;52:228–231. DOI: 10.1134/S1063739723600772.
Закс Д. И. Параметры теплового режима полупроводниковых микросхем. М.: Радио и связь; 1983. 128 c.
Жуков Н. П., Майникова Н. Ф, Никулин С. С. и др. Решение задач теплопроводности методом конечных элементов. Томск: Изд-во ТГТУ; 2014. 80 с.
Наседкин А. В., Наседкина А. А. Моделирование связанных задач: математические постановки и конечно-элементные технологии. Ростов-на-Дону; Таганрог: Изд-во Южного федерального университета; 2019. 176 с.
Леонтьев А. И. Теория тепломассообмена. М.: МГТУ им. Н.Э. Баумана; 2018. 464 с.
Румянцев А. В. Метод конечных элементов в задачах теплопроводности. Калининград: КГУ; 2010. 95 с.
Румшиский Л. З. Математическая обработка результатов эксперимента. М.: Наука; 1971. 192 с.
Шахмаева А. Р., Казалиева Э. Разработка технологии посадки кристалла мощного транзистора на основание корпуса с улучшенными характеристиками. Наукоемкие технологии. 2023;24(8):5–11. DOI: 10.18127/j19998465-202308-01.