[1]
Ефремов, А.М., Смирнов, С.А. и Бетелин, В.Б. 2024. О применимости 0-мерной (глобальной) модели для описания плазмы индукционного разряда в реакторах реактивно-ионного травления. Успехи кибернетики. 5, 4 (дек. 2024), 10-17. DOI:https://doi.org/10.51790/2712-9942-2024-5-4-01.