Ефремов, А. М., Смирнов, С. А., & Бетелин, В. Б. (2024). О применимости 0-мерной (глобальной) модели для описания плазмы индукционного разряда в реакторах реактивно-ионного травления. Успехи кибернетики, 5(4), 10-17. https://doi.org/10.51790/2712-9942-2024-5-4-01