ЕФРЕМОВ, А. М.; СМИРНОВ, С. А.; БЕТЕЛИН, В. Б. О применимости 0-мерной (глобальной) модели для описания плазмы индукционного разряда в реакторах реактивно-ионного травления. Успехи кибернетики, v. 5, n. 4, p. 10-17, 12 дек. 2024.