1.
Ефремов А.М., Смирнов С.А., Бетелин В.Б. О применимости 0-мерной (глобальной) модели для описания плазмы индукционного разряда в реакторах реактивно-ионного травления // Успехи кибернетики. 2024. Т. 5, № 4. С. 10-17. DOI: 10.51790/2712-9942-2024-5-4-01.