[1]
А. М. Ефремов, С. А. Смирнов, и В. Б. Бетелин, «О применимости 0-мерной (глобальной) модели для описания плазмы индукционного разряда в реакторах реактивно-ионного травления», УК, т. 5, вып. 4, сс. 10-17, дек. 2024.