1.
Ефремов АМ, Смирнов СА, Бетелин ВБ. О применимости 0-мерной (глобальной) модели для описания плазмы индукционного разряда в реакторах реактивно-ионного травления. УК [Интернет]. 12 декабрь 2024 г. [цитируется по 11 февраль 2025 г.];5(4):10-7. доступно на: https://ru.jcyb.ru/nisii_tech/article/view/335